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第三，纳米定位平台，尤其是压电驱动型，通常以三种方式之一运行：点对点运动、扫描或跟踪。在所有这些情况下，都期望平台在特定时间到达特定位置。位置与时间的关联至关重要。例如，在成像应用中，沿途采集的数据之后可以通过将数据点与给定时间的位置匹配，轻松重建为图像。这就是为什么位置与时间（时域）的测量比其他测试更能说明纳米定位系统的品质。除了以图形方式展示系统在复现纳米级步进时的行为外，它们还揭示了稳定性（随时间保持位置的能力）、稳定时间、超调量和重复性。
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